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? 炉盖:副室连接法兰,翻板阀,观察窗 抽真空管道 组成
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主炉室,翻板阀,副炉室,籽晶提升机构,液压驱动装置,真空系统,冲氩气系统及水冷系统。机架由底座,上立柱和下立柱组成,是炉子的支撑装置。坩埚驱动装置炉子本体包括机架江浙沪皖赣冶炼行业成套设备单位我长年专业收购单晶炉设备欢迎来电详询。这是单晶炉和拉晶工艺。为了配合di76.Zmm器件生产线的发展,我所研制了国内台15~30公斤的DL。78型单晶炉[‘],并在该单晶炉上研究了48Omm硅单晶的控制工艺[‘]。在控制大直径硅单晶的过程中,涉及的面比较广,尤其是从我国原有1公斤,th3orum级的基础上跳跃到12公斤,680mm硅单晶的拉制工艺,需要研究讨论的问题很多,例如,热场的设计。